下列因素均會影響霧氣粒子沉積，其中最重要的是：

氣道阻塞（狹窄、水腫、痰栓）直接改變氣流速度、氣流型態（層流→紊流）及氣道幾何形狀，同時增強慣性衝擊與重力沉降，並阻止粒子到達目標區域。阻塞越嚴重，藥物實際遞送效率越差且沉積分布越不均勻，是臨床上最難克服的結構性因素，故為最重要影響因素。