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國中教甄|生活科技生活科技115 年第 38 題單選題

有關半導體製程之敘,下列何者正確?

A矽晶棒成長法將種晶加熱,再施以高壓由一模具口擠出
B乾式蝕刻較濕式蝕刻所得電路線條精度高正確答案
C積體電路製作流程,先摻雜,在製作薄膜及微影,最後蝕刻
D為保護晶片,須先進行封裝,常用封裝塑膠材料為電木(酚醛樹酯)
答案與詳解
B
正確答案
乾式蝕刻利用電漿進行異向性蝕刻,能克服濕式蝕刻的等向性側蝕問題,從而獲得更高的電路線條精度。

逐選項解析

A矽晶棒成長法將種晶加熱,再施以高壓由一模具口擠出✕ 錯誤
矽晶棒成長(如柴可拉斯基法)是將種晶浸入熔融矽液中,一邊旋轉一邊緩慢向上拉出以形成單晶,並非施以高壓由模具擠出。
B乾式蝕刻較濕式蝕刻所得電路線條精度高✓ 正確
乾式蝕刻(如電漿蝕刻)具有異向性,能精確控制蝕刻方向,避免側向底切,因此所得電路線條精度遠高於等向性的濕式蝕刻。
C積體電路製作流程,先摻雜,在製作薄膜及微影,最後蝕刻✕ 易錯陷阱
D為保護晶片,須先進行封裝,常用封裝塑膠材料為電木(酚醛樹酯)✕ 錯誤

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