外國人為自用、投資或公益目的取得土地時，應檢附相關文件，由下列何者進行核准？

依土地法第20條，外國人為自用、投資或公益目的取得土地，應檢附文件向土地所在地之直轄市或縣（市）政府申請核准，核准後再層報內政部備查。