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國營聯招 化學化學分析9515單選題

下列何種酸可應用以去除矽晶片表層的 SiO₂ 氧化層?

AHF正確答案
BHCl
CHBr
DHI
EHClO₃
答案與詳解
A
正確答案
只有 HF(氫氟酸)能溶解 SiO₂,反應生成可溶性的 H₂SiF₆,是半導體製程去除氧化層的標準試劑。

為什麼答案是 A

HF 與 SiO₂ 反應:SiO₂ + 6HF → H₂SiF₆ + 2H₂O,生成可溶的六氟矽酸,能有效去除氧化層,是半導體製程標準用酸。

考點:HF溶解SiO₂考點:HCl不溶SiO₂考點:HBr不溶SiO₂考點:HI不溶SiO₂
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黑皮