二極體偵檢器(半導體偵檢器)原理與空氣游離腔最相似:輻射在半導體耗盡層產生電子電洞對,外加偏壓收集載子形成電流訊號,與游離腔在氣體中產生離子對並收集電荷的機制相同,只是介質由氣體換成半導體。
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