有關如何有效降低增強型 NMOS 電晶體的 VT (Threshold Voltage)值,下列敘述何者正確?
A降低基體(Substrate)的濃度(NA)正確答案
B降低源極(Source)區域的濃度(ND)
C降低汲極(Drain)區域的濃度(ND)
D降低閘極(Gate)區域的 εox / tox(εox:矽氧化層的電容介電係數;tox:矽氧化層的厚度)
答案與詳解
增強型NMOS的VT≈VFB + 2φF + |Qd|/Cox,其中φF=(kT/q)ln(NA/ni),耗盡層電荷Qd∝√(NA)。降低基體NA可同時減小φF與Qd,顯著降低VT。
