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國營聯招 電機電路學、電子學112 年第 34 題單選題

有關如何有效降低增強型 NMOS 電晶體的 VT (Threshold Voltage)值,下列敘述何者正確?

A降低基體(Substrate)的濃度( $N_{A}$ )正確答案
B降低源極(Source)區域的濃度( $N_{D}$ )
C降低汲極(Drain)區域的濃度( $N_{D}$ )
D降低閘極(Gate)區域的 $\varepsilon_{0x}/t_{ox}$ ( $\varepsilon_{0x}$ :矽氧化層的電容介電係數; $t_{ox}$ :矽氧化層的厚度)
答案與詳解
A
正確答案
增強型NMOS的臨界電壓VT受多重參數影響,降低基體(p型)摻雜濃度NA是最直接降低VT的方法。

逐選項解析

A降低基體(Substrate)的濃度( $N_{A}$ )✓ 正確
B降低源極(Source)區域的濃度( $N_{D}$ )✕ 易錯陷阱
Source區域的ND影響源極歐姆接觸電阻與飽和電流,但VT的決定因素是通道下方基體的NA,並非Source的ND,改變Source濃度不能有效改變VT。
C降低汲極(Drain)區域的濃度( $N_{D}$ )✕ 易錯陷阱
Drain區域的ND主要影響崩潰電壓及DIBL效應等短通道效應,對基本VT公式並無直接貢獻,降低Drain濃度不能有效降低VT。
D降低閘極(Gate)區域的 $\varepsilon_{0x}/t_{ox}$ ( $\varepsilon_{0x}$ :矽氧化層的電容介電係數; $t_{ox}$ :矽氧化層的厚度)✕ 錯誤

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