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電路學、電子學105 年第 42 題單選題考點:VT與NA正相關考點:源極濃度與VT無關

如何有效降低增強型 NMOS 電晶體的 Threshold Voltage 電壓值 VT,下列敘述何者正確?

A降低基體(Substrate)的濃度(NA)正確答案
B降低源極(Source)區域的濃度(ND)
C降低汲極(Drain)區域的濃度(ND)
D降低閘極(Gate)區域的 ε/tox(ε:矽氧化層的 permittivity;tox:矽氧化層厚度)
答案與詳解
A
正確答案
增強型NMOS的臨界電壓VT與基體濃度NA正相關,降低NA即可有效降低VT。

逐選項解析

A降低基體(Substrate)的濃度(NA)VT與NA正相關✓ 正確
VT = VFB + 2φF + QB/Cox,其中 φF = (kT/q)ln(NA/ni),QB = √(2εs·q·NA·2φF),NA 降低則 φF 與 QB 均降低,VT 因此下降,敘述正確。
B降低源極(Source)區域的濃度(ND)源極濃度與VT無關✕ 易錯陷阱
源極(Source)摻雜濃度 ND 決定 n+ 源極特性,影響的是歐姆接觸與電流驅動能力,並非 VT 的決定因素;降低 ND 不會有效降低 VT。
C降低汲極(Drain)區域的濃度(ND)✕ 易錯陷阱
D降低閘極(Gate)區域的 ε/tox(ε:矽氧化層的 permittivity;tox:矽氧化層厚度)✕ 易錯陷阱

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