如何有效降低增強型 NMOS 電晶體的 Threshold Voltage 電壓值 VT,下列敘述何者正確?
A降低基體(Substrate)的濃度(NA)正確答案
B降低源極(Source)區域的濃度(ND)
C降低汲極(Drain)區域的濃度(ND)
D降低閘極(Gate)區域的 ε/tox(ε:矽氧化層的 permittivity;tox:矽氧化層厚度)
答案與詳解
VT = VFB + 2φF + QB/Cox,其中 φF = (kT/q)ln(NA/ni),QB = √(2εs·q·NA·2φF),NA 降低則 φF 與 QB 均降低,VT 因此下降,敘述正確。
